美國ALICAT 質量流量計M-500SLPM， M系列

Alicat M系列質量流量計

快速質量流量控制器和儀表使過程控制和校準過程更加高效。Alicat提供多種方法來定制您的氣體流量計或控制器，以用于低壓降，高壓或腐蝕性應用。標準功能包括實時讀數，快速閥門響應和多氣體校準。大多數型號可以定制，流速高達5000 slpm或低至2.5sμlm/ 0.0025 sccm。

產品特點：

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優于0.5%

● 高量程比 200:1

● 響應時間快 僅需100ms

● 內置98種氣體

● 可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

應用：

● 大學/研究所

● 環境監測

● 真空行業及鍍膜

● 工業爐窯

● 半導體

● 汽車制造

● 光伏

● 燃料電池

● 計量

● 過程工藝氣體測量

精度：± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度（可選型）：± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

內部最大工作壓力 （可選高壓）：145 psig

數字輸出信號：RS-232 或 RS-485 PROFIBUS